Wafer Isıtıcılar
Kamet, ince film biriktirme sistemleri (örn. CVD, PVD, ALD) dahil olmak üzere yarı iletken endüstrilerindeki çeşitli wafer işleme uygulamaları için üst düzey ısıtma çözümleri sunmaktadır. ARi ile ortak olarak, kritik koşullara uygun ve bu süreçlerin olağanüstü ve çeşitli taleplerini karşılayacak özelliklere sahip mineral yalıtımlı wafer ısıtıcılar (alt tabaka ısıtıcıları veya plaka ısıtıcıları olarak da bilinir) sunuyoruz. Tamamen özelleştirilmiş alt tabaka ısıtıcıları genellikle en iyi çözümdür, ancak bir dizi standart disk ısıtıcı da sunuyoruz. Müşteri neyi seçerse seçsin, optimum sıcaklık homojenliği sağlayarak genel proses istikrarını iyileştirmek için ürünlerimize ve tavsiyelerimize güvenilebilir.
Ürün özeti
- Optimum sıcaklık homojenliği
- 1000°C’ye kadar ısı prosesleri için uygundur
- Proses sıcaklıklarının hassas kontrolü
- Azaltılmış kontaminasyon riski
- Hermetik olarak mühürlenmiş elektronik bağlantılar
- Helyum sızıntı kontrolü ile vakum bütünlüğü sağlanır
Gofret ısıtıcı çeşitleri
(Mineral yalıtımlı) wafer ısıtıcı seçimi, gerekli uygulamaya göre belirlenir. İnce film biriktirme işlemlerinin son derece uzmanlaşmış ve kritik doğası nedeniyle, ısıtma çözümlerimiz genellikle tüm işlem parametrelerini ve gerekli nihai sonucu dikkate alacak şekilde özelleştirilir. Odak noktamız aşağıdaki ısıtıcı kategorileridir:
- Bir dizi standart diskli ısıtıcı
- 5 cm’den 16 cm çapa kadar
- diskin müşteri tarafından kendi özel fikstürlerine vidalanmasına veya kaynaklanmasına olanak tanıyan evrensel bir destekle mevcuttur
- Özel alt tabaka/plaka ısıtıcıları
- boyut, şekil, kılıf malzemesi gibi faktörler açısından uygulama ortamına tam olarak uyacak şekilde müşteri ile birlikte tasarlanmıştır
Kamet’te ısıtıcı seçiminiz ne olursa olsun, ürünlerimizin yüksek kalitesi ve danışmanlarımızın uzmanlığı, ince film biriktirme sistemleri için çok kritik olan termal homojenliğin sağlanabileceği anlamına gelir.
Wafer ısıtıcılar ne için kullanılır?
Wafer ısıtıcılar, özellikle yarı iletken endüstrilerinde ince film biriktirme sistemleri için kullanılmakla birlikte güneş panelleri, nano teknolojiler, ince film biriktirme sistemleri, litografi, tavlama ve optik cihaz endüstrilerinde de kullanılmaktadır. Bu vakum işlemlerinde, ultra ince (bazen sadece birkaç atom kalınlığında) kaplamalar vakumda bir yüzeye uygulanır. Kullanılan çeşitli teknikler vardır ve bunların tümü, hem çalışma sıcaklığına hem de biriktirilen malzeme türüne uyacak özelliklere ve tasarıma sahip farklı alt tabaka ısıtma elemanları gerektirir.
Wafer ısıtıcılarımız aşağıdaki proseslerde kullanılmaktadır:
- ALD (Atomik Katman Biriktirme) 200°C ila 400°C
- 900°C’nin üzerinde CVD (Kimyasal Buhar Biriktirme)
- PVD (Fiziksel Buhar Biriktirme) 200°C ila 400°C
- PLD (Darbeli Lazer Biriktirme) 500°C
- PECVD (Plazma ile Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme) 200°C ila 400°C
- Püskürtme (alt tabakayı yüksek enerjili parçacıklarla bombardıman ederek kaplama) 350°C
Wafer ısıtıcılar, yapışma ve kimyasal reaksiyonlar üzerinde etkili olmak da dahil olmak üzere biriktirilen filmin özelliklerini doğrudan etkileyebilir. İnce filmin eşit şekilde biriktirilmesi için ısıtmanın homojenliğini sağlamada kritik öneme sahiptirler.
Özellikler ve fiziksel özellikler
Her uygulama için mükemmel şekilde ayarlanmış bir gofret ısıtıcı sağlamak amacıyla, Kamet ve/veya ARi uzmanının dikkate alacağı bir dizi değişken ve spesifikasyon vardır:
- Farklı tipteki substrat ısıtma elemanları çeşitli (özelleştirilebilir) şekillerde, boyutlarda ve uzunluklarda gelir.
- Elektrik bağlantıları hermetik olarak kapatılmıştır. Conta seçimi vakum seviyesine ve kimyasalların/kirleticilerin varlığına bağlıdır.
- Vakum bütünlüğü ARi tarafından bir helyum sızıntı kontrolü kullanılarak sağlanır
- Güç ve sensör kablolarını vakum dışında bağlamak için vakum flanşları (“O” halkaları) mevcuttur. Metalden seramiğe ısıtma konektörlerimiz de bu konuda dikkate alınması gereken faydalı aksesuarlardır.
- Sıcak ve soğuk ısı bölümleri özelleştirilebilir.
- Tehlikeli ortamlarda kontaminasyonu en aza indirmek için kaynaklı bir dış kılıf tedarik edilebilir. Örneğin, paslanmaz çelik veya Inconel 600.
- Üretilen ısının hassas bir şekilde izlenmesi için dahili termokupllar dahil edilebilir.
Tüm bu olanaklar, oksitleyici, inert, indirgeyici ve (yüksek) vakumlu ortamlara dayanıklı wafer ısıtıcıları tedarik edebileceğimiz anlamına gelir. Mineral yalıtımlı wafer ısıtıcılarımızın çok geniş sıcaklık aralığı, onları 1000°C’ye kadar tüm biriktirme işlemlerine uygun hale getirir. Ayrıca gofret ısıtıcıları, kılıf sayesinde mükemmel mekanik dayanım ile son derece duyarlıdır. ARi Industries’de sıkı kalite test gerekliliklerine uyulmaktadır.
Chuck ısıtıcılar ve wafer ısıtıcılar
Gofret aynası, esasen üretim süreci sırasında yarı iletken gofretleri tutmak ve sabitlemek için kullanılan bir araçtır. Ayna ısıtıcı, ısıtma sırasında gofreti yerinde tutan mekanizmalara sahip bir gofret ısıtıcıdır. Bir ayna ısıtıcının birincil amacı, gofretin biriktirme, aşındırma, fotolitografi ve tavlama gibi belirli işlemler için en uygun sıcaklıkta olmasını sağlamaktır.
Ayna ısıtıcıları, gofret aynalarına çeşitli şekillerde entegre edilir. Bunu gömülü ısıtma elemanları ile sağlıyoruz. Bunlar, doğrudan aynanın gövdesine dahil edilen ısıtma elemanlarıdır. Aynanın yüzeyi boyunca eşit ısıtma sağlayabilirler, bu da gofreti eşit bir sıcaklıkta tutmak için kritik öneme sahiptir.
Isıtma ihtiyaçlarınız hakkında bir uzmanla beyin fırtınası yapın
Bugün size nasıl yardımcı olabiliriz?
"*" gerekli alanları gösterir
Kamet'in kalitesi ve hizmeti
Kamet’in wafer ısıtıcıları ABD’den ARi industries tarafından tedarik edilmektedir. Isıtma dünyasında onlarca yıllık deneyime sahiptirler ve en uzun soluklu ortaklarımızdan biridirler. Kamet’in ARi industries ile geliştirdiği ortaklık, ısmarlama ısıtma çözümleri tasarlamak veya mevcut ürün yelpazesini belirli bir uygulamanın taleplerini karşılayacak şekilde ayarlamak için tam teknik destek sağlar.
Aslında, Kamet Heating’in Avrupa’nın önde gelen yarı iletken şirketlerine tedarik sağlamasının nedenlerinden biri, yeni ve özel yapım ısıtma ürünlerinin geliştirilmesini aktif olarak desteklememizdir. Sıcaklık homojenliğinin çok önemli olduğu alt tabaka ısıtıcıları ile ilgili olarak, ARi tarafından yapılan araştırmalar, termal homojenlik çözümlerinde (örneğin çoklu bölgeler veya özel alt tabaka ısı dağıtıcıları) sürekli iyileştirmelerle devam etmektedir.