Metal, alaşım ve metal olmayan maddelerin ince film birikimini (kaplamalarını) oluşturmak için kullanılan çeşitli vakum işlemleri vardır. Bu işlem mekanik, elektromekanik veya termodinamik yollarla gerçekleştirilebilir. Kamet’in mineral yalıtımlı vakum ısıtıcıları, biriktirme sistemlerinde geniş bir uygulama alanına sahiptir.
Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD) nedir?
Fiziksel buhar biriktirmede (PVD), metaller ve alaşımlar bir kaynaktan buharlaştırılır ve atomlar, iyonlar veya moleküller termal buharlaştırma, püskürtme veya elektron ışını (e-beam) kullanılarak alt tabaka yüzeyine biriktirilir. Tekniğin seçimi, biriktirilen özel malzeme türüne bağlıdır.
Magnetron püskürtme
- Kaynak ve (ısıtılmış) alt tabaka (genellikle cam) arasında elektriksel olarak üretilen bir plazma kullanır.
- Şunun için uygundur
E-Beam buharlaştırma
- Bir mıknatıs, buharlaştırma için malzemeyi ısıtmak üzere kullanılan yoğun bir ışın içindeki elektronları hızlandırır.
- (Isıtılmış) alt tabaka üzerinde yüksek saflıkta yoğun kaplamalar elde eder.
- Düşük termal iletkenlik nedeniyle standart termal buharlaştırma kullanılarak elde edilemeyen malzemelerin biriktirilmesi için kullanılır.
Termal buharlaşma
- En yaygın ve basit biriktirme şekli
- Yüksek vakum biriktirme koşulları gerektirir (10E-5 mbar ve üzeri)
- Dirençli bir ısıtma elemanı, dirençli bir teknedeki kaynak malzemeyi kaynama noktasına getirir
- Buharlaşan moleküller alt tabaka üzerinde ince film birikimi (kaplama) oluşturur.
- Çok çeşitli yüzeyler üzerinde neredeyse tüm inorganik ve bazı organik kaplamalar için kullanılabilir
- Daha çevre dostu
- Yüksek saflıkta kaynak malzemeden yüksek saflıkta biriktirmeye izin verir (yüksek vakum nedeniyle çok az kirlenme).
Kamet PVD için hangi ısıtma çözümlerini sunuyor?
Kamet wafer ısıt ıcıları magnetron püskürtmede önemli bir bileşendir. Ayrıca, özel proses gereksinimlerini karşılamak için alt tabaka ısıtıcılarımızı (ayna ısıtıcıları veya numune ısıtıcıları olarak da bilinir) özelleştirebiliyoruz. Örneğin, PVD yüzeyler için ısıtma aynasına mineral yalıtımlı bir ısıtma elemanı dökmek. Mikro ısıtıcılar, PVD için özel olarak tasarlanmış diğer bir küçük ısıtma çözümüdür.
Aslında Kamet’in gücü, yarı iletken endüstrisindeki müşterilerimizin özel üst düzey ihtiyaçlarına göre uyarlanmış son derece hassas, özelleştirilmiş çözümler sunmasında yatmaktadır. Bu tür projeler için MI ısıtıcılarımızı tedarik eden ortak şirketimiz ARi ‘deki uzmanlarla da yakın bir şekilde çalışıyoruz.
PVD için mineral yalıtımlı ısıtma elemanları kullanmanın avantajları nelerdir?
- 1000°C’ye kadar sıcaklıklar
- Mineral yalıtım, ısıtma elemanlarının uygun olmasını sağlar
- Her ortama uyacak özel kılıf malzemeleri mevcuttur
- Isıtıcıların sıcak ve soğuk bölümleri arasında kesintisiz geçişler
- Sıcak ve soğuk bölümlerin çapları eşittir
- Aşırı ısınmayı önleyen soğuk uçlar sayesinde sonlandırma basittir
- Yüksek güç yoğunluğu için uygundur
- Bir kaynak, yonga plakası, hedef veya alt tabakaya ısı dağılımının homojenliği
- Geniş bükülme yarıçapı, ısıtma elemanlarını karmaşık, kavisli uygulamalar için uygun hale getirir
- Kritik prosesler için hassas ısıtma
- Daha ince, düşük kütleli tasarımlar mümkündür.
- Hızlı ısınma süreleri
- Sızdırmaz ısıtma elemanları kirlenmeyi önler
- Termokupllar tasarıma dahil edilebilir
Yarı iletken endüstrisine yönelik çalışmalarımız hakkında daha fazla bilgiyi buradan okuyabilirsiniz. Herhangi bir sorunuz varsa veya uygulamanız hakkında bizimle konuşmak isterseniz. Bu form aracılığıyla bizimle iletişime geçebilirsiniz.