Yarı iletken endüstrisinde kaplamaların yonga levhalar üzerinde biriktirilmesi için çok sayıda yöntem bulunmaktadır. Bu kaplama katmanları daha sonra hem aktivasyonları ve modifikasyonları için hem de malzeme gerilimini serbest bırakmak ve filmlerin özelliklerini iyileştirmek için bir araca ihtiyaç duyar. Hızlı ısıl işlem (RTP) ve hızlı ısıl tavlama (RTA) bu bağlamda kullanılır ve gofretlerin oldukça kontrollü bir şekilde ısıtılmasını ve soğutulmasını içerir. Bu işlemlerde gofretin termal maruziyeti minimumda tutulmalıdır (aksi takdirde termal bütçe olarak bilinir).
Cihaz geometrileri küçülmeye devam ettikçe, bu daha da kritik bir önem kazanmaktadır. Kamet’in mineral yalıtımlı (MI) yüksek sıcaklık (‘egzotik’) termokuplları, çalışma sıcaklıklarının yakından izlenmesinde çok önemli bir rol oynayabilirken, mineral yalıtımlı ısıtma elemanlarımız hassas sıcaklık kontrolüne yardımcı olabilir.
RTP ve RTA
Hızlı termal işleme (RTP), mümkün olduğunca kısa bir işlem süresi tasarlayarak bir gofretin aşırı termal enerjiye maruz kalmasını en aza indirmek için geliştirilmiştir. Hızlı ısıtma IR lambalar, halojen lambalar, lazerler veya elektrikli ısıtıcılar aracılığıyla gerçekleştirilir. RTP için 3 ana uygulama alanı şunlardır:
- Aktivasyon süreci: Bir yarı iletkenin iletken bir malzemeye dönüştürüldüğü süreç. Bu süreçte, safsızlıklar transistöre yerleştirilir ve kısa bir süre için yüksek sıcaklıklar kullanılarak aktive edilir veya istenen yerlere taşınır.
- Malzeme modifikasyon süreci: Transistör kontaklarının oluşturulması. Transistör kontaklarının yapımında RTP, nikel platin gibi bir malzemeyi, kontağın özelliklerini iyileştirmeye yardımcı olan daha sağlam ve düşük dirençli bir nikel monosilisite dönüştürmek için kullanılır.
- Filmin özelliklerini iyileştirmek. Bu durumda, RTP filmleri yoğunlaştırmak için kullanılabilir, bu da filmi daha sağlam hale getirir ve bu da cihazın performansını artırır.
Hızlı termal tavlama (RTA), gofretin elektriksel özelliklerini etkilemek için kullanılan özel bir RTP türüdür.
Bu işlemlerde, iyi sonuçlar için çok yüksek sıcaklıklar istenir, ancak çeşitli nedenlerle (örneğin, katkı maddelerinin çok geniş bir alana yayılması gibi) gofretler uzun süre yüksek ısıya maruz bırakılamaz. Şu anda, dopant aktivasyonu için kullanılan tipik ani tavlamalar birkaç saniyeden fazla sürmemektedir.
Kamet, RTP ve RTA için hangi ısıtma ve sıcaklık çözümlerini sunuyor?
Hızlı ısıl işlem (RTP) ve tavlamada (RTA), doğru sıcaklık ölçümü ve kontrolü son derece zordur. Kamet, bu kritik sürecin her iki yönünü de kolaylaştırmak için özelleştirilmiş bileşenler sunar.
- Yüksek sıcaklık termokupllarımız, zorlu ortamlarda hızlı tepki süreleri ve doğru ölçümler sağlamak için özel olarak tasarlanmıştır.
- Mineral yalıtımlı (MI) gofret ısıtıcılarımız, RTP sistemlerinde gofretleri eşit şekilde ısıtmak için kullanılabilir. MI ısıtıcılarımız hızla 1000°C’ye kadar ısıtabilir ve normal voltaj seviyelerinde (120V – 230V) ve belirli düşük voltaj seviyelerinde çalışabilir. Bu sayede elektrik dönüştürücülere gerek kalmaz.
- Mikro ısıtıcılar, PVD için özel olarak tasarlanmış küçük bir ısıtma çözümü olabilir.
Kamet’in termokupl ve ısıtıcı tasarımları, her bir özel uygulama ortamına uyacak şekilde tamamen özelleştirilebilir.
RTP ve RTA için yüksek sıcaklık termokuplları kullanmanın avantajları nelerdir?
- Yüksek sıcaklıklarda bile son derece hassas okumalar
- Pirometrelerin doğru kalibrasyonu
- Hızlı yanıt süreleri
- Termokuplun ve mineral yalıtımlı kılıfın tam olarak özelleştirilmesi, en zorlu ortamlara bile mükemmel uyum sağlar.
- Sürecin iyi bir şekilde tekrarlanabilirliğine katkıda bulunur
- On-wafer ince film termokupllar, tel termokupllar kullanıldığında meydana gelen ısı transferi olmadan tüm yüzey sıcaklığını ölçebilir
- Uygun maliyetli çözümler
- Karmaşık alanlara uyması için bükülebilir
- Uzun vadeli ortağımız ARi ‘nin 60 yıllık deneyimiyle birinci sınıf kalite
- Ekstra kalite güvencesi için tahribatsız testler mevcuttur
Yarı iletken endüstrisine yönelik çalışmalarımız hakkında daha fazla bilgiyi buradan okuyabilirsiniz. Herhangi bir sorunuz varsa veya uygulamanız hakkında bizimle konuşmak isterseniz. Bize ulaşın.